无论是实验室中产生的气体还是钢瓶中的气体，在使用前都必须预先净化以除去痕量的其他气体杂质。并且需要防止灰尘污染和湿气吸收。高纯气体污染主要发生在储存、运输和计量过程中。保持高纯气体质量的关键是小心处理高纯气体。在实际工作中，为了防止高纯气体被污染，需要采取许多严格的控制措施。条件允许时，应在实验室中设置专门的储气室。氧化性气体和还原性气体应分开放置，可燃气体和不可燃气体应分开放置，以防发生意外爆炸事故。使用高纯气体时，为了确保高纯气体不受污染或将污染降至最低，应注意以下问题。

选择合适的调压阀和输送管道调压阀要求。密封紧密，输出压力稳定；调节阀和气体接触部分的部件具有耐腐蚀性；过滤器(如烧结金属过滤器或微孔过滤系统)设置在阀门或管道中，以过滤掉颗粒并降低高纯度气体中颗粒物质的含量。

输送管道应尽量采用洁净金属管，如不锈钢或聚四氟乙烯管。管子只能用特氟隆带安装。

严格清洁输气系统的所有部件，使用适当的脱脂溶剂如三氯乙烯清洗颗粒、油渍、吸附物、水分等。预先安装在管道等部件上。组件组装后，在使用之前，应将其排空，并用惰性气体(如干燥氮气)吹扫，以去除杂质(如水分)。限制气瓶使用的最小压力，因为气体中的杂质可能在高压下吸附在气瓶的内壁上，并且当气瓶的压力下降时，吸附在内壁上的杂质将被解吸，从而限制气瓶使用的最小压力。

使用时，应经常检查气瓶和传动系统的密封性。如果发现泄漏，应及时采取措施。